半导体真空除泡机/真空消泡机/工业烤箱是怎么消除气泡的?除泡原理是什么?
发布时间:2023/05/05 15:59

半导体除泡机又称真空除泡机、真空消泡机、脱泡机、真空脱泡搅拌机、工业烤箱、高温烘箱等。


半导体除泡机是一种用于半导体器件制造过程中去除气泡的设备。在半导体器件的制造过程中,气泡是一种很常见的缺陷。它们会使得器件在操作时性能下降,甚至损坏器件。因此,使用半导体除泡机去除气泡是一种十分重要的操作。


半导体除泡机的工作原理是基于与液体静压力有关的物理原理。具体来说,它通过在半导体器件制造过程中引入超高压液体来去除气泡。

当超高压液体通过半导体器件中的孔洞时,液体成为了孔洞中的一部分,它的静水压力也随之增加。如果已形成气泡,在液体进入孔洞的时候,气泡会被挤压,一部分气体会溶解在液体中,而剩余的气体则会逐渐在静水压力下压缩消失。


除泡机的主要部件是超高压液体的喷射器、腔体和液压系统。液体高压泵将水或其他介质提升到高压状态,使用喷射器使其在所处理的器件表面产生适当的压力。当腔体内的压力超过气泡的力,气泡会被强制挤出。在整个处理过程中,系统应具有控制压力、控制喷射器位置、喷头流量和压力等参数的能力。

从这个原理来看,半导体除泡机具有以下三个方面的优点。


首先,它可以在无需破坏加工步骤的情况下去除气泡。许多其他的技术需要在制造器件之前或之后进行操作,因此需要额外的加工步骤。


其次,它可以用于不同类型和尺寸的半导体器件制造。这是因为它不依赖特定的表面工艺或结构。相反,它可以和不同的加工步骤和设计组合使用。


第三,它可以在处理过程中保持高水平的可控制性。通过控制喷液量和压力来影响气泡脱出的时机和速度。这使得操作者能够更好地控制去除气泡的效果,从而提高半导体器件的安全和性能稳定。


总的来说,半导体除泡机是一种非常重要的半导体器件制造设备。它利用高压液体的物理原理去除气泡,从而提高了半导体器件的质量和性能。


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