半导体封装制程中的铟片工艺
发布时间:2023/01/12 09:43


半导体产业中,高端处理器芯片一般具有较大的功耗,对散热要求较高。相较于传统硅脂导热膏材料,金属材料才是目前业界散热性能最好的材料。在高端处理器芯片的封装制程中,相较于其它金属材料,铟金属(铟单质、铟合金)导热能力及物理特性使其散热表现远好于其它金属材料。铟的热传导率能到达86W/cm·℃,而且铟是一种银白色软金属,可塑性强,有延展性,可压成片,如果接触面两侧有一定的压力,能够很好的把铟夹在中间,那么散热效能更好。铟片特有的散热方式,使其经常应用在芯片的封装结构中。但由于金属铟的熔点较低(156.61℃),而在封装过程中的锡金属回流温度可能会达到260度左右,在这个温度下,铟金属会发生沸腾,容易流动飞溅并外溢到电容等元器件,导致其电性能失效。另外,由于铟金属的外溢造成覆盖率不足,容易导致散热效果降低等问题。

image.png

图源:百度百科


考虑到铟片在半导体封装工艺制程中的优势,南京屹立芯创提供能够解决其工艺问题的方案,同时该制程方案可量产使用。

image.png

图源:南京屹立芯创半导体科技有限公司官网


基本上,铟金属目前在半导体封装中有两种不同应用。第一种是铟Soldering的Die Bond工艺,该较之锡膏的特殊Soldering,同样也含有Flux,设备Soldering Printing、贴片后,使用屹立芯创除泡烤箱,在较低温的固化制程下,其空洞率与散热效果均比传统无铅锡膏更有优势。此外,屹立芯创还提供铟散热片工艺,主要针对FC产品,芯片正常FC Bonding后,经过CUF、除泡烤箱、Reflow、助焊剂清洗,再在芯片背面进行铟片Bonding,再经过2nd除泡烤箱(低温制程),制程稳定可实现量产,无需考虑铟片的低熔点与高温回流焊炉温度的不匹配性所带来的各种失效问题。

图片

图源:南京屹立芯创半导体科技有限公司


屹立芯创真空压力除泡系统打破传统技术瓶颈,采用多项创新发明专利技术,利用真空+压力交互切换的的模式使烧结材料致密、均匀。特殊的温控方式,能够实现腔室的快速升温降温,大幅度提高UPH;炉体具有压力容器认证合格证明,并设置超压超温保护装置,使用安全;设备亦具有多项选配项目,如含氧量控制,除挥发物装置,电子增压系统,及自动开关炉门等等,可定制化设计,高质量、高信赖度。




屹立芯创 Elead Tech


屹立芯创依托核心的热流、气压等高精尖技术,以多领域除泡系统和晶圆级真空贴压膜系统为代表的两大先进封装设备体系已成功多年量产,正跻身成为全球热流与气压技术的领导者。20年+的技术沉淀,专注提升除泡和贴压膜制程良率,提供半导体产业先进封装领域整体解决方案,成功赋能全球半导体、芯片、新能源、5G、汽车等多个细分领域。

公众号底图2 拷贝.jpg

推荐阅读
屹立芯创董事长魏小兵出席中国—马来西亚工商界午餐会
2024-07-02
探索半导体封装新天地:清华&南大学生走进屹立芯创开启创新研发之旅
2024-07-29
深化合作,共谋发展——马来西亚FANCO PRECISION领导一行到访屹立芯创,共商合作机遇
2024-07-10
如何解决IGBT模块内部空洞、分层等间隙类缺陷?真空压力除泡系统给出先进封装除泡整体解决方案
2024-07-10
一键解决芯片键合封装难题!
2024-05-17
因聚而生 共赴未来 | 屹立芯创受邀参加2024九峰山论坛暨化合物半导体产业博览会
2024-04-11
屹立芯创蝉联SEMI产品创新奖,除泡品类开创者再获殊荣
2024-04-02
屹立芯创三月大事记
2024-04-02
深耕除泡领域20年,屹立芯创登陆SEMICON CHINA,带来国产除泡芯方案
2024-03-20
屹立芯创再获殊荣:2023年度发展共赢企业!
2024-02-23
TOP 10! 屹立芯创跻身2023半导体设备新锐企业榜单
2024-01-11
多芯片堆叠封装工艺, 屹立芯创有绝招!
2024-04-24
一键解决芯片键合封装难题!
2024-04-18
多芯片堆叠封装工艺, 屹立芯创有绝招!
2024-04-16
聚焦先进封装工艺,屹立芯创秀出IGBT行业设备解决方案!
2024-04-10
为什么SiC模块未来将由灌胶模块转为塑封模块
2024-04-03
底部填充胶可靠性有哪些检测要求
2024-03-19
SEMICON China 2024 | 倒计时最后一天,屹立芯创邀您共话半导体芯未来
2024-03-19
预约参展 | 屹立芯创与您相约SEMICON CHINA 2024上海展会
2024-03-19
“探讨科技前沿,共话创新未来”屹立芯创交流会圆满结束
2024-03-14
Underfill气泡解决方案-屹立芯创高温真空压力除泡系统
2024-01-18
环氧树脂基底部填充电子封装胶的三大主要问题
2024-01-16
倒装芯片为什么要使用底部填充胶?
2024-01-11
【干货】underfill底部填充胶空洞的原因、检测及分析
2024-01-11
除泡机漏气怎么办?屹立芯创真空除泡机解决您的烦恼!
2023-09-01
3D DRAM,还能这样玩!
2023-08-30
屹立芯创受邀参加第七届中国系统级封装大会,核心技术助力先进封装制程发展
2023-08-24
先进封装 | SiP封装技术之TSV封装失效分析
2023-08-22
屹立芯创与上海交大智研院共建半导体先进封装联合实验室正式落成
2023-07-14
如何去除环氧胶中的气泡?
2023-07-14
屹立芯创携除泡品类正式亮相SEMICON CHINA,卓越国产设备荣获SEMI产品创新等奖项
2023-07-11
SEMICION CHINA | 屹立芯创实力出场,带来除泡品类整体解决方案
2023-07-03
先进封装之面板芯片级封装(PLCSP)简介
2023-06-21
走进华润微电子|屹立芯创参加中半协封测分会与华润微电子对接交流会
2023-06-14
屹立芯创「产学研」深度品牌项目 | “芯火力量”走进深圳大学
2023-06-09
IGBT焊接层空洞的形成及解决方案
2023-06-06
长三角第三代半导体产业知识产权联盟大会召开!屹立芯创成为首届成员企业与技术专家受聘企业
2023-05-11
屹立芯创「产学研」深度品牌项目 | “芯火力量”走进清华大学
2023-05-10
OCA贴合后总是出现气泡问题?请查收这份全贴合气泡分析和经验总结
2023-04-25
半导体减少空洞、提升良率的新方法
2023-04-18
返回列表
业务咨询
扫码咨询
联系我们
返回顶部